Scanning Electron Microscope (SEM-EDX)

sem-edx-2

Scanning Electron Microscope (SEM-EDX) ZEISS EVO® MA 10

Scanning Electron Microscope (SEM) EVO® MA 10 adalah sebuah mikroskop elektron yang digunakan untuk menyelidiki permukaan dari objek solid secara langsung.  SEM EVO® MA 10 memiliki perbesaran 10 – 3000000x, depth of field 4 – 0.4 mm dan resolusi sebesar 1 – 10 nm.  Dilengkapinya SEM EVO® MA 10 dengan detektor Energy Dispersive X-ray (EDX) memungkinkan dilakukannya mikroanalisis secara kualitatif dan semi kuantitatif untuk unsur-unsur mulai dari litium (Li) sampai Uranium (U).

Kombinasi dari perbesaran yang tinggi, depth of field yang besar, resolusi yang baik, kemampuan untuk mengetahui komposisi dan informasi kristalografi membuat SEM banyak digunakan untuk keperluan penelitian dan industri. Adapun fungsi utama dari SEM antara lain dapat digunakan untuk mengetahui informasi-informasi mengenai:

  1. Topografi, yaitu ciri-ciri permukaan dan teksturnya.
  2. Morfologi, yaitu bentuk dan ukuran dari partikel penyusun objek.
  3. Komposisi, yaitu data semi kuantitatif unsur dan senyawa yang terkandung di dalam objek.
  4. Informasi kristalografi, yaitu informasi mengenai bagaimana susunan dari butir-butir di dalam objek yang diamati.